日置HIOKI在半导体器件测试中的应用

        半导体是指常温下导电性能介于导体和绝缘体质检的材料，目前，常用的半导体材料包括三种：硅、锗、砷化镓。

        平时说的半导体，其实是指半导体元器件（或集成电路），也就是由半导体材料制造的电子元器件（或集成电路）。

        半导体在我们熟悉的集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、汽车电子、大功率电源转换等领域都有应用，而日置HIOKI的测试仪器如功率分析仪、记录仪、数采、电池测试仪、LCR、阻抗测试仪等也在这些领域担任着重要的测试任务。

        那么日置产品在半导体元器件（或集成电路）测试中的应用有哪些呢？以晶圆级MOSFET为例，晶圆电容-电压（C-V）特性曲线测试是半导体参数测试中的比较关注的一部分，CV频率范围根据不同的器件有1Hz-100Hz、10Hz-10KHz、10KHz-1MHz或者更高频段，通过上位机软件在固定频段下以0.1V或者0.5V的步进扫描电压测试C值，电压范围有-5V~+5V、-10V~+10V、-20V~+20V、-30V~+30V、-40V~+40V或者更高。（支持第三方软件控制）

        通过C-V测量还可以对其他类型半导体器件和工艺进行特征分析，如：BJT晶体管，二极管与PN结，III-V族化合物，二维材料，金属材料，光子检测器件，钙钛矿与太阳能电池，LED与薄膜晶体管，非易失性存储器与材料，MEMS与传感器，分子与纳米器件，半导体器件特性分析与建模，器件噪声特性分析以及检测工艺参数和失效分析机制等。

        半导参数测试中除了CV电容电压特性曲线测试，还有IV电流电压特性曲线测试，可以将LCR测试仪IM3536搭配皮安表SM7110以及其他测试仪器进行系统集成。